Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究

作者：赵永蓬; 徐强; 肖德龙; 丁宁; 谢耀; 李琦; 王骐

来源：ACTA PHYSICA SINICA, 2013, (24): 219-225.

• 极紫外光刻光源
• 毛细管放电
• 磁流体力学
• Xe等离子体 extreme ultraviolet source
• capillary discharge
• magneto-hydrodynamics
• Xe plasma

理论和实验上研究了Xe介质毛细管放电极紫外光源等离子体时间特性和最佳条件.从理论上建立了Xe介质一维辐射磁流体力学模型,模拟了不同气压和电流条件下等离子体压缩和辐射特性;实验上测量了放电电流30 kA时不同气压条件下13.5 nm(2%带宽)动态特性.理论和实验结果表明:不同放电电流条件下,存在最佳气压值,最佳气压随着电流的增加而增加;同时,电流增加时,13.5 nm(2%带宽)辐射光强峰值时刻减小.

• 单位
  北京应用物理与计算数学研究所; 哈尔滨工业大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所