吸附氘和注入氘对钛膜微观结构的影响

摘要

利用X射线衍分析射仪、慢正电子湮没技术和扫描电镜对Mo衬底上钛膜吸氘或注入氘前后的微观结构进行表征。结果表明:吸附氘改变了钛膜物相结构,注入氘未改变钛膜的物相结构;原始钛膜和吸附氘后的钛膜中缺陷分布均匀,吸附氘增加了钛膜缺陷浓度,载能氘粒子的注入对钛膜造成较大损伤;吸附氘对钛膜表面形貌无影响,由于选择性烧蚀,注入氘后钛膜表面不均匀性降低。

关键词