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Effect of Zirconium Doping on Electrical Properties of Aluminum Oxide Dielectric Layer by Spin Coating Method with Low Temperature Preparation (vol 10, 620, 2020)
作者:Zhou, Yue; Liang, Zhihao; Yao, Rihui
*
; Zuo, Wencai; Zhou, Shangxiong; Zhu, Zhennan; Wang, Yiping; Qiu, Tian; Ning, Honglong
*
; Peng, Junbiao
来源:
Coatings
, 2020, 10(10): 918.
DOI:10.3390/coatings10100918
单位
南京航空航天大学
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