微波消解-ICP-AES法同时测定多晶硅中磷、硼等12种杂质元素

作者：陈金凤; 钟坚海; 刘明健; 叶建龙; 李镇祥

来源：检验检疫学刊, 2013, (02): 23-26.

• 微波消解
• ICP-AES法
• 多晶硅
• 磷
• 硼
• 杂质元素 Microwave Digestion
• ICP-AES
• Poly Silicon
• Phosphorus
• Boron
• Impurity Elements

建立了微波消解-ICP-AES法同时测定多晶硅中磷、镍、钴、硼、铁、镁、铬、铝、钒、铜、钛、钇12种杂质元素含量的方法,避免了传统湿法消解过程中导致的硼元素损失。采用耐氢氟酸进样系统直接进样,无需加热赶酸,极大地提高了分析效率。采用标准加入法定量,克服了硅的基体干扰,各元素的检出限在0.002-0.04μg/mL范围内,加标回收率为94.5%-106.5%,相对标准偏差(n=3)为0.2%-3.3%。

• 单位
  福州大学; 化学化工学院