面向新型DNA检测方法的固态纳米孔研究进展

作者：陈剑; 邓涛; 吴次南; 刘泽文

来源：微纳电子技术, 2013, (03): 143-150.

• 固态纳米孔
• DNA测序
• 纳米加工
• 孔收缩
• 石墨烯纳米孔 solid-state nanopore
• DNA sequencing
• nanomanufacturing
• pore-size shrink
• graphene nanopore

对用于第三代DNA测序技术的固态纳米孔的研究进展进行了综述分析,指出了采用传统微加工技术进行固态纳米孔批量制作的重要性。在介绍了基于纳米孔的第三代DNA测序技术以后,分别对固态纳米孔制备和缩孔技术进行了回顾,同时简述了石墨烯纳米孔的制备方法。目前,固态纳米孔的制备方法主要有电子束加工、离子束加工和湿法刻蚀法。缩孔技术是获得亚10 nm孔的有效途径,主要的缩孔技术包括电子束方法、离子束方法、沉积法和热处理法。通过分析得出,将传统微纳加工技术与微缩孔技术相结合可实现固态纳米孔的批量制备,其具有高效率、高重复性、材料选择性好等优势,值得开展深入的研究。

• 单位
  清华大学; 贵州大学