熔石英光学元件的损伤前驱及其抑制技术

作者：叶鑫; 黄进; 王凤蕊; 程强; 刘红婕; 周信达; 孙来喜; 张振; 蒋晓东; 郑万国

来源：强激光与粒子束, 2013, (12): 3220-3224.

• 熔石英
• 损伤前驱体
• 氢氟酸
• 损伤性能 fused silica
• laser damage precursors
• HF
• damage properties

基于抛光所引起的熔石英元件表面、亚表面所存在的损伤前驱体分布,研究了不同种类的损伤前驱体所引起的损伤形貌。然后根据不同种类的损伤前驱体分别采用表面活性剂、强氧化性酸、氢氟酸的水溶液对不同的损伤前驱体进行处理。研究结果显示:经过前期预先清洗以后,吸收性杂质所导致的雾状损伤得以消除,亚表面分布的裂纹得以很好地平滑钝化,极大地提升了熔石英光学元件的抗损伤性能,损伤阈值从4.8J/cm2提高到11.0J/cm2,最大提升幅度达到原来的2.3倍。

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心