高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备

作者：汪桂根; 崔林; 韩杰才; 王新中; 严帅; 秦国双

来源：人工晶体学报, 2013, (08): 1498-1503.

• 蓝宝石
• 图形衬底
• 电子束光刻
• 剥离
• 发光二极管 sapphire
• patterned substrate
• E-Beam lithography
• lift-off
• LED

首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜;最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应。在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺优化研究。SEM测试结果表明,图形化铝膜在450℃低温氧化热处理24 h后,其图形形貌没有发生明显改变;在温度低于1200℃的高温热处理1 h后,图形仍然存在。HRXRD分析表明,图形化铝膜在450℃低温热处理24 h后再在1000℃高温热处理1 h,可在蓝宝石衬底上形成氧化铝外延薄膜;并且相比于基片,氧化铝外延薄膜的结晶质量还有所提高。本方法成功实现了高效大功率用LED蓝宝石图形衬底的制备。

• 单位
  哈尔滨工业大学; 深圳信息职业技术学院