真空技术及应用系列讲座 第十八讲 真空蒸发镀膜

Authors：张以忱

Source：真空, 2013, (04): 86-88.

• 蒸发镀膜
• 气体分子运动论
• 真空技术
• 热平衡状态
• 蒸发速率
• 源材料
• 电阻加热蒸发
• 原子簇
• 分子密度
• 镀膜材料

<正>(接2013年第3期第88页)2.3.3膜材的蒸发速率在蒸发物固(或液)相与其气相共存体系中,在热平衡状态下,根据气体分子运动论,若气体压力为p,温度为T,则单位时间内碰撞单位蒸发面积的分子数为

• Institution
  东北大学