摘要
针对空气轴承回转误差的测量精度问题,基于三点法误差分离原理,建立了空气轴承回转误差测量系统中存在的各种测量误差传递数学模型;以测量误差传递函数作为目标函数,对传感器夹角布置进行了仿真优化;基于优化结果,模拟计算了传递到回转误差上的传感器读数随机误差、系统误差以及测头角位置误差大小;计算结果表明,选择适当的传感器夹角,可将传感器读数中的测量误差传递倍数控制在1.13左右,而测头角位置误差传递量可忽略;建立的测量误差传递模型及仿真计算结果可为相关主轴回转误差的测量精度评估提供一定参考。
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单位中国工程物理研究院总体工程研究所