一种硅基发光二极管的制备方法

Authors：王兴军; 王冰; 郭瑞民; 王磊; 周治平

Source：2013-03-27, 其他国家, ZL201010281011.3.

一种硅基发光二极管的制备方法,其特征在于,包括以下步骤：S1：制备铒硅氧溶胶；S2：在p型掺杂的硅基体上涂敷所述铒硅氧溶胶,制备铒硅酸盐无机化合物与富硅氧化硅混合物薄膜作为本征层；S3：在所述本征层上沉积一层磷掺杂的硅材料制作n型电极,形成硅基发光二极管。

• Institution
  北京大学