圆形霍尔板参数对MEMS霍尔器件性能影响研究

摘要

利用ANSYS有限元分析软件对的工作状态进行计算,分析霍尔器件灵敏度与霍尔板(霍尔器件工件区域)结构尺寸关系,研究形状对器件灵敏度的影响。结果表明:圆形霍尔板灵敏度比矩形霍尔板的高,当圆形霍尔板的半径与厚度比值为20时,灵敏度最高。

关键词