柔性阻变存储材料与器件研究进展

摘要

物联网技术的飞速发展对柔性可穿戴电子设备提出了迫切需求，而作为电子设备的不可或缺部分，存储器势必也需要朝向柔性化的方向发展。阻变存储器具有高速、低功耗、非易失、结构简单、选材广泛等特性，被视为未来柔性存储器的重要候选技术之一。在应变条件下，阻变存储器的薄膜开裂无疑会导致器件性能失效。因此，近年来除研究应变对材料性质和器件性能的影响外，研究人员主要从选择合适的阻变材料和优化器件制备工艺方面不断尝试，取得了丰硕的成果，大幅提升了器件柔韧性。为构建高性能的柔性阻变存储器，许多材料已被开发作为存储介质，包括无机、有机、有机-无机复合或杂化材料等。同时，金属、金属合金、碳/硅材料、氮化物、导电氧化物等已...

关键词