刻蚀压强对制备碳纳米管形貌的影响

作者：席彩萍

来源：材料开发与应用, 2015, (04): 70-73.

• 碳纳米管
• 刻蚀压强
• 扫描电镜(SEM) carbon nanotube
• etched pressure
• SEM

采用等离子体增强化学气相沉积技术,以C2H2、H2和N2为反应气体,制备出碳纳米管薄膜,利用扫描电镜(SEM)对其进行表征。结果表明:催化剂刻蚀压强对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用,获得定向性好、密度适中、杂质缺陷少的碳纳米管的最佳的刻蚀压强为200 Pa。

• 单位
  渭南师范学院