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摘要
以可延展和可弯曲为特点的柔性电子器件因其在信息、医疗、能源等领域的巨大前景受到众多研究者的广泛关注,成为近年来的研究热点。氧化物功能薄膜材料由于其丰富的电学／磁学／光学等性能及独特的多场耦合特性，成为物理学和材料学的重要研究对象，并应用于各种电学／光学器件中。随着器件越来越多地应用于各种复杂曲面环境以及与人体或人体组织密切贴合，对氧化物薄膜器件可延展和可弯曲等柔性化的需求日益迫切。由于高质量氧化物薄膜的生长需要较高的温度，且对生长基底和薄膜之间的界面控制要求较高，因此，氧化物薄膜与可延展柔性基底的集成存在很大的挑战。将氧化物薄膜直接沉积柔性金属箔片或高分子基底上，需要克服金属基底与薄膜界面控制...
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单位电子科技大学
