BaO-Nd_2O_3-Sm_2O_3-TiO_2薄膜的微波特性

作者：张洪波; 王文君; 秦超; 张巧真; 张继华

来源：压电与声光, 2013, (05): 716-718.

• BNST薄膜
• 射频磁控溅射
• 高频应用
• 介电性能 BNST film
• RF magnetron sputtering
• high frequency application
• dielectric properties

在制作完底电极的LaAlO3(100)衬底上,利用磁控溅射法制备了一层BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)系薄膜,再对薄膜进行退火处理。X线衍射仪(XRD)分析表明,经退火处理的BNST薄膜结晶效果良好。采用薄膜电容结构来实现电容的测量,主要研究了BNST薄膜电容的频率特性。阻抗分析测试和矢量网络分析测试表明,在测试频率为1MHz时,介电常数为58.3,介电损耗小于2%;在1GHz的测试频率下,介电常数为57.5,介电损耗小于3%。研究表明,制备的BNST薄膜的频率特性稳定,基本满足微波频率下使用的要求。

• 单位
  电子科技大学