摘要

微接触印刷(μCP)是一种能在微纳米尺度上完成表面图案化的技术,主要特点是高效和低成本。研究了μCP过程中印章机械特性和印刷压力对形成的微图案质量的影响。为了进一步分析聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作的印章特性,浇注了5种配比的PDMS试样,并进行了单轴拉伸和压缩试验,获得了其应力应变关系。制作了3种配比的表面线型图案印章,实施微接触印刷使其印刷压强在1 KPa~1 MPa。通过图形化分析对最终的微接触印刷质量进行评估。实验结果表明:最优的压强区间为20 KPa~200 KPa。较小的压力将会产生印章与基底的间隙,而较大的压力将会导致印章的严重变形。由于质量比为20:1的PDMS印章的杨氏模量最小,其在中等压力下的微接触印刷质量最好,而较硬的印章可有效地抵抗印刷中产生的变形。