基于频率特征的薄膜损伤声学判别方法

作者：苏俊宏; 王坤坤; 梁海锋

来源：强激光与粒子束, 2014, (07): 22-26.

• 薄膜损伤
• 声频
• 激光能量
• 相似
• 曲线特征 film damage
• acoustic frequency
• laser energy
• similarity
• curve characteristics

利用声学法研究单层氧化硅薄膜在不同激光能量下的损伤情况,建立了激光致薄膜产生的声波采集系统,对其采集到的时域信号进行傅里叶变换,比较和分析薄膜损伤前后声波24~40kHz高频段的曲线,提取频率特征,并提出用曲线相似函数进行薄膜损伤的识别方法。实验数据结果表明,该方法简单易行,可降低环境噪声的影响,既能实现在线检测,又能准确判别薄膜损伤。

• 单位
  西安工业大学