采用有限元方法模拟了硅单晶Cz炉内的熔体流动及传输过程,研究了表面张力温度系数对熔体流动和氧浓度的影响。结果表明,自由表面的熔体流动随表面张力温度系数的增大而加强。常规Cz炉内结晶界面的氧浓度呈现先降低后升高的趋势,而带有气体导板的Cz炉内氧浓度一直减小。
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