薄膜理想台阶的制备方法研究

摘要

目的研究台阶的形貌对台阶仪测试的影响,准确测试薄膜的厚度。方法分析制备台阶中存在的问题,针对这些问题设计了中轴线位置带掩膜条的掩膜板,并采用该新型掩膜板,在不同衬底上制备台阶,用台阶仪对薄膜的厚度进行测定。结果在薄膜中轴线附近做出的台阶,坡度陡峭,上下表面清晰。Mo衬底上制备出的薄膜厚度重复性较好;单晶硅衬底上制备的薄膜表面粗糙度较大;石英衬底上制备薄膜形成的台阶上下表面均较为平滑。结论使用新型掩膜板在石英衬底上制备出理想台阶,可较为准确地测试薄膜的厚度。

关键词