超硬微结构光学功能表面的ELID磨削加工技术

作者：张海南; 郭兵; 赵清亮

来源：航空精密制造技术, 2013, (04): 5-9.

• 微结构
• 光学功能表面
• ELID磨削
• 超硬材料 microstructures
• optical functional surface
• electrolytic in-process dressing grinding
• super-hard material

针对超硬微结构功能表面的ELID磨削技术研究现状进行综述,介绍了超精密磨削技术在超硬微结构光学功能表面加工方面的研究进展,同时也介绍了ELID磨削技术应用于微结构加工方面的研究现状,探讨了采用ELID对超硬微结构光学功能表面进行磨削加工的可行性及面临的问题,并对微结构光学功能表面的ELID加工技术的发展和应用进行预测和建议。

• 单位
  哈尔滨工业大学