工作压强对射频辉光放电H_2/C_4H_8等离子状态的影响

作者：李蕊; 何智兵; 杨向东; 何小珊; 牛忠彩; 贾晓琴

来源：ACTA PHYSICA SINICA, 2013, (05): 482-488.

• 辉光放电技术
• 等离子体质谱诊断
• 工作压强 the glowing discharge technology
• mass spectrometry diagnosis of plasma
• pressure

利用辉光放电技术采用等离子体质谱诊断的方法研究了不同工作压强下H2/C4H8混合气体等离子体中主要正离子成分及其能量的变化规律,并分析了压强对H2/C4H8混合气体的离解机理以及主要正离子形成过程的影响.结果表明:随着工作压强的增加,碳氢碎片离子的浓度和能量均逐渐减小.当工作压强为5Pa时,H2/C4H8混合气体等离子体中C3H5+相对浓度最大;压强为10Pa时,C3H3+相对浓度最大;压强为15,20Pa时,C2H5+相对浓度最大;压强为25Pa时,C4H9+相对浓度最大.对H2/C4H8等离子体中的主要组分及其能量分布所进行的定性分析,将为H2/C4H8混合气体辉光放电聚合物涂层的工艺参数优化提供参考技术基础.

• 单位
  中国工程物理研究院