多室镀膜机的结构特点与工业应用

摘要

首先介绍镀膜技术的分类、软硬衬底涂层设备的结构特点及多室系统、现代卷绕镀膜机单室、双室及三室的真空设计,其次介绍直线式与集束式多室镀膜机的结构特点,最后叙述大型真空镀膜设备工业应用及进展情况。(1 Torr=133 Pa)

关键词