先进光学制造技术进展

作者：许乔; 王健; 马平; 陈贤华; 雷向阳

来源：强激光与粒子束, 2013, (12): 3098-3105.

• 先进光学制造
• 高功率激光
• 确定性抛光
• 表面缺陷 advanced optical manufacturing
• high power laser
• deterministic finishing
• surface defect

针对高功率固体激光发展的需求,总结了先进光学制造技术方面的研究进展。采用超精密制造技术提高了非球面等元件的加工精度和制造效率,并为解决低缺陷加工提供了技术途径。围绕面形误差控制,特别是中频波前误差控制,发展了多种确定性抛光技术。针对熔石英元件建立了"去除-抑制"模型及新的抛光技术,有效抑制了亚表面缺陷的产生。

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心