摘要

针对研究气敏传感器时使用不同浓度值标准气体来标定的需要,分析了几种传统的标定方法后,提出了基于质量流量控制器的动态标定配气方法,并对其不确定度进行了分析。此方法可以轻松实现多个浓度的气体配置,方便研究性试验的标定工作,具有很好的应用价值。

  • 单位
    中国工程物理研究院总体工程研究所