工作压强对辉光放电聚合物薄膜化学结构与表面形貌的影响

作者：牛忠彩; 何智兵; 何小珊; 韦建军; 贾晓琴; 杜凯

来源：真空科学与技术学报, 2013, (10): 985-990.

• 辉光放电聚合物
• 工作压强
• 功率谱密度曲线
• 红外吸收谱 Glowing discharge polymer
• Filmmorphology
• Power spectral density
• FT-IR absorption spectrum

采用低压等离子体聚合装置制备了不同工作压强下的辉光放电聚合物(GDP)薄膜。利用傅里叶变换红外吸收光谱仪和原子力显微镜对薄膜的化学结构和表面形貌数据进行表征,对薄膜的表面形貌进行了二维功谱密度的全谱分析。研究了工作压强的变化对GDP薄膜的化学结构和表面形貌的影响。结果表明:在压强较低的情况下制备的GDP薄膜含有较多的sp2C=C双键,CH等离子聚合容易形成较大的团簇沉积在薄膜表层,增大了薄膜表面的粗糙度值。随着工作压强的增加,聚合物薄膜中的碳链交联性降低,GDP薄膜表面粗糙度值不断降低。由二维功率谱密度曲线的全谱分析可知薄膜的表面相关长度随工作压强的增加不断减小,粗糙度指数α不断增大。

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心