脉冲敲击技术对PI微球表面粗糙度的影响

作者：曹洪; 黄勇; 陈素芬; 张占文; 韦建军

来源：ACTA PHYSICA SINICA, 2013, (19): 403-409.

• 脉冲敲击技术
• 聚酰亚胺靶丸
• 表面粗糙度
• 壁厚均匀性 pulse tapping technology
• polyimide capsule
• surface roughness
• wall thickness uniformity

作为点火靶重要候选靶丸之一,聚酰亚胺(PI)空心微球采用降解芯轴技术结合双单体气相沉积聚合法(VDP)制备.在PI涂层过程中微球碰撞对表面质量影响较大,为了减小碰撞提高表面质量,选用筛网盘做样品盘,激励方式由压电振动模式改为脉冲敲击模式进行对比.实验数据表明微球运动过程中碰撞是引起表面质量变差的原因,通过理论分析确认了筛网盘通过减少接触点可以减少微球与微球间、微球与样品盘间的碰撞,并且将压电振动改为脉冲敲击模式可以减小微球碰撞次数.脉冲敲击模式与压电振动模式相比,其可控性、微球弹跳幅度、消除静电等方面均优于压电振动.对于微球壁厚均匀性而言,压电振动略好于脉冲敲击,但相差较小.单个微球的壁厚最大偏差前者为0.68μm,优于后者的0.73μm;单个微球壁厚平均值在同一批次内的最大起伏,前者为0.26μm,优于后者0.57μm.白光干涉仪数据显示脉冲敲击起到了提高微球表面质量的作用,其表面粗糙度Rq值由52—93 nm减小到28—44 nm.

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心