集成光学器件的PLZT薄膜溶胶-凝胶法制备与性能研究

作者：杨柳; 胡国华; 恽斌峰; 章丽昕; 崔一平

来源：光电子.激光, 2013, (12): 2338-2343.

• 锆钛酸铅镧(PLZT)
• 溶胶-凝胶法
• 薄膜
• 快速退火 PLZT
• sol-gel method
• thin film
• rapid thermal annealing

在掺铌钛酸锶(NST)的衬底上,通过加入抑制开裂剂聚乙二醇对异辛基苯基醚(triton X-100),利用溶胶-凝胶法制备了厚达4.6μm的锆钛酸铅镧(PLZT)薄膜,从而有效地减小了其在集成光学器件应用中的传输损耗。实验分析了triton X-100的加入量对薄膜质量的影响,并通过优化triton X-100的加入量可有效抑制薄膜开裂。利用光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、棱镜耦合波导测试仪和台阶仪等对制备的薄膜性能进行分析。结果表明,经过650℃快速退火处理后,得到了表面平整度小于30nm、粒径为50~100nm的钙钛矿结构PLZT薄膜,测得PLZT(8/65/35)和PLZT(11/65/35)薄膜在1 550nm波长处的折射率分别为2.4029和2.388 5。本文方法制备的薄膜可以用于PLZT电光器件的制作。

• 单位
  东南大学