基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测

作者：傅贵武; 申路; 王宇华

来源：佛山科学技术学院学报(自然科学版), 2013, (02): 58-61.

• 白光干涉
• 微齿轮
• 几何特征检测 white-light interference
• micro-gear
• geometric characteristic measurement

将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中,该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点,水平分辨力为亚微米级,垂直分辨力可以达到纳米量级,并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸。研究结果表明,垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检测,满足设计中提出的精度要求。

• 单位
  佛山科学技术学院; 华南理工大学