MnO_2对金刚石单晶的刻蚀研究

作者：肖长江; 陈怡光; 栗正新

来源：金刚石与磨料磨具工程, 2019, (05): 1-6.

DOI：10.13394/j.cnki.jgszz.2019.5.0001

• 金刚石单晶
• 表面刻蚀
• 二氧化锰 diamond monocrystal
• surface etching
• MnO_(2 )

在不同温度下,将金刚石在空气中单独刻蚀或与MnO_2混在一起刻蚀,用表面形貌、刻蚀面积和单颗粒抗压强度来表征单晶表面刻蚀程度。结果表明:MnO_2和空气都能刻蚀人造金刚石单晶表面,且随刻蚀温度升高刻蚀加剧。在相同刻蚀温度下,用MnO_2刻蚀时,单晶的{111}面比{100}面刻蚀严重;而在空气中,其{100}面比{111}面刻蚀严重。金刚石单晶刻蚀后其{100}面易形成四边形坑,{111}面易形成金字塔形刻蚀坑。且MnO_2刻蚀剂能够对金刚石表面刻蚀起促进作用,使刻蚀面积增大和最大刻蚀速率对应的温度降低,导致金刚石单颗粒抗压强度大幅下降。

• 单位
  河南工业大学