基于相似测度算法的激光诱导薄膜损伤表面特征研究

作者：杨利红; 谢辉; 苏俊宏

来源：应用光学, 2014, (06): 1099-1103.

• 激光损伤阈值
• 相似测度算法
• 表面特征 laser damage threshold
• similarity measure algorithm
• surface features

鉴于薄膜激光损伤性能评价是增强抗激光红外观察窗口性能的重要保证,给出薄膜在脉冲激光诱导作用下的损伤表面特性及其机理。实验采用YAG脉冲激光器对TiO2薄膜样片进行1-on-1方式的激光诱导。通过CCD采集TiO2薄膜激光辐照前后2幅图像,将这2幅图像进行匹配,建立差异图像测度算法;实验得出TiO2薄膜样片的差异能量测度可判别出损伤情况,即测度值M<0.1为未发生损伤,0.1<M<0.2为轻度损伤,0.2<M<0.5为中度损伤,M>0.5为严重损伤。薄膜样片经过能量密度为0.5J/cm2的激光辐照后粗糙度明显增大。研究结果表明,采用激光辐照前后图像匹配的测试方法可实现薄膜激光损伤与否的判别。

• 单位
  西安工业大学