掺杂纳米SnO_2气敏传感器的研究进展

作者：杨华明杜春芳欧阳静张向超苏晓辉

来源：微纳电子技术, 2005, (04): 145.

• 二氧化锡
• 掺杂
• 传感器
• 气敏特性 SnO_2
• doping
• sensor
• gas-sensing characteristic

介绍了半导体气敏传感器的发展历史和掺杂纳米SnO_2气敏传感器的特性与应用;详细分析了掺杂金属单质、金属氧化物和稀土元素对SnO_2气敏性的影响,通过掺杂可以显著改善其对特定气体的灵敏度、稳定性和选择性等参数;利用元件表面的氧吸附理论分析掺杂纳米SnO2的气敏机理;展望了SnO_2气敏传感器的发展前景。

• 单位
  中南大学