EPBS对氚化钛薄膜中氚量及分布的初步分析

Authors：邬琦琦; 龙兴贵; 毛莉; 孙洪伟; 安竹

Source：四川大学学报(自然科学版), 2013, (04): 797-801.

• 氚分析
• BIXS方法
• EPBS方法 tritium analysis
• BIXS
• EPBS

近年来,我们致力于将氚$衰变诱发X射线谱分析(BIXS)方法发展成为一种准确测量含氚薄膜中氚量及分布的常规方法.该方法结合了蒙特卡罗模拟与Tikhonov正则法,近期已用于一系列氚化钛薄膜样品总氚量、深度分布的分析.增强质子背散射分析(EPBS)方法作为一种快速、无损的杂质成分含量及深度分布的分析手段,在本文中被用于该系列氚化钛薄膜样品的分析,并与相应的BIXS结果进行了比较,对分析中的有关问题也进行了讨论.

• Institution
  中国工程物理研究院核物理与化学研究所