硅基AlN椭圆形IDT-SAW滤波器的设计

作者：王代强; 陈雨青; 姚祖铭; 刘桥

来源：传感技术学报, 2013, (12): 1691-1694.

• 滤波器
• 椭圆形IDT结构
• 变迹加权
• 插入损耗
• AlN薄膜 filter
• ellipse IDT structure
• apodization weighted
• insertion loss
• AlN film

在已知的压电材料中,AlN薄膜的声表面波传播速度是最快的。采用硅基AlN薄膜作为压电材料,利用变迹加权的方法来优化设计IDT,改进型δ函数模型为椭圆形结构IDT的建模工具。通过建模仿真并根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,在实验室制作了中心频率为300MHz,带内插损11dB的SAW带通滤波器样品,测试结果表明其仿真结果与试验结果一致性较好,具有实际应用意义。

• 单位
  贵州大学; 贵阳学院