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去润湿图案化制备TIPS-并五苯有机薄膜晶体管

冯翔; 林广庆; 张俊; 李曼菲; 邱龙臻
中国知网
合肥工业大学

摘要

利用润湿/去润湿的方法配合旋涂工艺制备了图案化的TIPS-并五苯有机半导体薄膜,制备了顶接触有机薄膜晶体管(OTFTs)。金相显微镜观察发现,转速的选择对TIPS-并五苯薄膜结晶形貌的影响较大。在1 000~2 000r/min转速下制备的薄膜完整性好,结晶区域较大;而转速增加到3 000r/min后,难以获得完整的薄膜且晶粒尺寸变小。电学性能研究得到器件的输出曲线、转移曲线、开关电流比、阈值电压、场效应迁移率,发现结晶形貌好的器件具有更好的电学性能。1 000r/min转速下制备OTFT器件最大场效应迁移率为5.16×10-2 cm·V-1·s-1,电流开关比为8×103。

关键词

有机薄膜晶体管 去润湿图案化 电性能 organic thin film transistor wetting/dewetting patterned electrical properties