摘要

对硅钼棒炉原有温度控制系统进行了研究,研制了一套以智能温度控制器为核心、具有双闭环负反馈的温度控制系统。设计了主回路过电压和过电流保护电路,并根据加热件材质特性给出了工艺建议。调试结果表明,系统具有操作简单、故障率低和控制品质好等优点。实践证明,该控制系统具有一定的推广应用价值。

  • 单位
    中国工程物理研究院