利用射频磁控溅射结合水热生长两步法制备了均匀致密分布的ZnO纳米晶薄膜,并利用碳纳米管阵列场发射阴极测试了其场电子激励下的发光特性。结果表明,在电子束流激励下,ZnO纳米晶薄膜的光谱具有两个发射峰,其中黄绿峰属于缺陷发光而紫外峰来源于ZnO的内在激子,且随电子束流密度的增大紫外峰发光强度增长明显。另外,还发现ZnO纳米晶薄膜相对于常规ZnO薄膜的光谱有一定程度的红移,近紫外峰已移至紫光波段。
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