梯形状微结构的微细电解加工研究梁若云; 张长富; 孙立力; 郑丕显; 贠康中国知网西安工业大学摘要针对某加速度计挠性零件梯形状微结构的加工难题,利用在线制备的两个不同直径的工具电极,经过微细电解粗加工和精加工,加工出了符合技术要求的梯形状微结构。关键词梯形状微结构 微细电解加工 粗加工 精加工 micro trapezoid structure micro electrochemical machining rough machining finishing machining