基于高反射率DBR薄膜的倒装LED电极结构优化设计

作者：吕家将; 刘星童

来源：半导体光电, 2019, (06): 776-780.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2019.06.005

• 倒装LED
• 分布式布拉格反射镜
• 双金属层电极
• 环形叉指
• 平均反射率 flip-chip LEDs
• DBR
• electrode with two-level metallization
• annular finger-like electrode
• average reflectivity

为提升LED芯片的光提取效率和电流扩展能力,设计了双金属层环形叉指结构ITO/DBR电极的大功率倒装LED芯片,并对分布式布拉格反射镜(DBR)薄膜和环形叉指电极结构进行了仿真优化计算。利用TFcalc软件仿真计算了DBR堆栈方式、堆栈周期和参考波长对DBR反射率的影响。仿真结果表明,优化设计的双堆栈DBR薄膜在234nm宽波长范围内反射率均高于95%,对应蓝黄光区域(440～610nm)平均反射率高达98.95%,参考波长红移可以缓解DBR反射偏振效应。利用SimuLED软件仿真计算了电极结构对芯片电流扩展能力的影响。仿真结果表明,350mA电流输入情况下,单金属层电极电流密度均方差为44....

• 单位
  武汉大学