基于三元阵列式MEMS水听器的被动定位系统设计

作者：刘梦然; 李善强; 贾雯; 聂磊

来源：半导体光电, 2019, (06): 838-841.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2019.06.019

• 集成阵列式
• MEMS水听器
• 被动定位系统 integrated array
• MEMS hydrophone
• passive positioning system

声纳系统是水下武器装备的重要组成部分,其发展趋向隐蔽性、小型化。文章提出了一种基于小型化三元阵列式微机电系统(MEMS)水听器的被动定位系统。首先,设计了一种三元阵列式MEMS水听器,即在同一芯片上集成三个不同角度偏差的MEMS矢量敏感单元;其次,在充分分析水听器工作原理的基础上建立了阵列式水听器的定位模型,并通过仿真验证了其设计的合理性;最后,以STM32单片机为控制核心设计了阵列式MEMS水听器的信号处理与目标定位系统。这种三元阵列式MEMS水听器在仿真定位中展现了良好的定位精度,充分证明了本系统设计的正确性及实用性。