一种用于超光谱成像系统中消高级次光谱集成滤光片的设计与研制

摘要

介绍了一种用于工作波段0.4～2.5μm超光谱成像系统中消高级次光谱集成滤光片的设计与研制.针对offeer凸面光栅分光的工作特点,通过在同一光学基片上划分三块不同的几何区域,分波段实现超光谱成像仪全光谱范围内因光栅分光引起高级次光谱的抑制与消除,同时保证工作波段的光学效率优于93％.采用精细掩模技术,保证不同波段之间过渡区域的尺寸小于30μm,有效提高光谱利用效率.

关键词