薄膜制备技术中溶胶-凝胶工艺研究

作者：韩德强李勇

来源：四川化工, 2005, (05): 45-47.

• 溶胶-凝胶法
• 成膜理论
• 成膜工艺
• 发展现状

综述了溶胶-凝胶工艺在薄膜制备技术中的现状和技术动态、溶胶-凝胶工艺的成膜理论和成膜工艺对薄膜工业发展的促进,并简要提出了溶胶-凝胶薄膜工艺影响薄膜厚度的因素和存在的主要技术问题。

• 单位
  江西理工大学