镀膜时间对TiAlN薄膜的微观组织和性能的影响

摘要

本文研究了镀膜时间对TiAlN涂层的微观组织和性能的影响。研究结果表明:随着镀膜时间的延长,薄膜表面晶粒尺寸越来越细小,表面更致密度均匀;涂层硬度、膜基结合力、抗氧化性是呈先上升后下降的趋势。镀膜时间为40min时,涂层硬度达到最大值,膜基结合力、抗氧化性最好。

关键词