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摘要
针对高精度球面检测中球面的调整误差影响，分别研究了波前离焦和倾斜所引入的 Zernike 像差项，并以此为基础，提出了基于 Zernike 系数的高精度球面调整误差校正方法。利用 ZYGO 干涉仪对大数值孔径的待测球面进行了检测，实验中对待测球面同时引入波前离焦和倾斜误差，再分别运用所提出的校正方法和传统的消倾斜离焦校正方法得到波面数据并进行对比，进而验证了所提出的校正方法的可行性。实验结果表明，利用该方法可有效的校正大数值孔径球面存在调整误差时所引入的波面像差，并且实验中的校正精度达到了 0.002λ (λ 为检测光波长)。提出的基于 Zernike 系数的球面调整误差校正方法可降低对于调节机构的精度以及检测人员的经验要求，在高精度球面检测中具有非常高的实际应用价值。
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单位1; 2; 中国计量学院; 浙江大学
