空气轴承间隙测量精度分析

作者：凌明祥; 王珏; 李明海; 张荣

来源：传感器与微系统, 2013, (06): 5-8.

• 空气轴承
• 回转误差
• 三点法
• 测量误差传递 air-bearing
• rotating error
• three-points method
• measurement error transfer

空气轴承间隙的实时测量中,采用3个电容测微仪将轴承轮廓的形状误差从径向回转误差中分离出来。基于三点法误差分离原理,推导了电容测微仪读数中的随机误差和系统误差传递数学模型,分别以随机误差和系统误差传递模型为目标函数,对传感器夹角布置进行了仿真优化。最后,模拟计算了传递到径向回转误差两垂直分量上的电容测微仪读数测量误差大小。仿真结果表明:即使是最优角度,传感器读数的随机误差在三点法计算过程中也将被放大,而恒值系统偏差约按1∶1的比例传递到径向回转误差测量结果中。

• 单位
  中国工程物理研究院总体工程研究所