线面式电容传感器结构设计与传感特性研究

作者：曾涛; 鲁云峰; 张钟华; 陈乐; 许素安

来源：计量学报, 2019, (06): 941-945.

• 计量学
• 线面式电容传感器
• 传感特性
• 运动方向检测
• 垂向参考 metrology
• filament-surface capacitive sensor
• sensing characteristics
• measurement for the movement direction
• vertical direction reference

提出了一种基于自阻尼垂向测量参考的线面式电容传感器,对垂向运动中的残留水平位移进行精确测量。线面式电容传感器利用细丝电极作为直接垂向测量参考,消除了间接参考在其转换过程包含的系统误差;同时采用细丝末端的液体阻尼器保证细丝电极的稳定性。实验表明:在0. 38～0. 4 p F范围内,线面式电容传感器的分辨力优于0. 05μm,短期稳定性约为0. 1μm。

• 单位
  中国; 中国计量科学研究院