基于超声波直线电机的垂直轴精密定位系统

摘要

为实现垂直轴方向的大行程精密定位,以超声波直线电机为驱动元件,构建了具有毫米级行程的垂直轴定位系统。介绍了超声波直线电机的工作原理和垂直轴定位机构的组成及特点。由于难以获得超声波直线电机的精确数学模型,提出了超声波直线电机的CMAC与PID复合控制策略。实验表明,使用复合控制可以使系统获得更快的响应速度,同时具有较小的超调量;采用不同步长的连续步进实验测试了系统的定位精度和定位准确度。

关键词