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超精密机床隔振地基模型建立与分析

张明; 赵鹏宁
中国知网
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

摘要

低频信号对超精密加工机床的影响较大,必须将其隔除。介绍一例精密机床隔振地基的模型,并对该模型的隔振性能进行了一些探讨。

关键词

精密机床 隔振地基 模型 Precision machine tools Isolation foundation Model