超精密机床隔振地基模型建立与分析张明; 赵鹏宁中国知网中国工程物理研究院机械制造工艺研究所摘要低频信号对超精密加工机床的影响较大,必须将其隔除。介绍一例精密机床隔振地基的模型,并对该模型的隔振性能进行了一些探讨。关键词精密机床 隔振地基 模型 Precision machine tools Isolation foundation Model