外加偏置电场对类金刚石薄膜激光损伤形貌影响研究

作者：吴慎将; 苏俊宏; 施卫; 王馨梅; 徐均琪

来源：真空科学与技术学报, 2012, (01): 11-14.

• 外加偏置电场
• 无氢类金刚石
• 激光损伤
• 损伤形貌 External electric field
• Hydrogen-free DLC
• Laser Damage
• Damage morphology

研究了使用非平衡测控溅射技术沉积的类金刚石(DLC)薄膜其抗激光损伤能力;通过对比施加偏置电场前后薄膜的损伤情况,发现:DLC薄膜施加偏置电场后,薄膜的激光损伤区域内有大量丝状薄膜,损伤形貌存在明显不同,损伤面积减小;薄膜的激光损伤情况得到改善。实验结果显示,外加偏置电场对DLC薄膜的损伤有影响。认为:激光在DLC薄膜中激励产生的光生电子在电场的作用下产生快速漂移,间接降低了激光辐照区域内的局部能量密度,减缓了薄膜的石墨化,提高了DLC薄膜的抗激光损伤能力。

• 单位
  西安工业大学; 西安理工大学