摘要

透明导电氧化物薄膜在光伏器件、平面显示器件中有着广泛的应用,其介电函数是薄膜材料器件化过程中不可忽略的基本物理参数。使用脉冲激光沉积技术,在(LaAlO_3)_(0.3)(Sr_2AlTaO_6)_(0.35)(LSAT)基底上成功制备了La_(2/3)Sr_(1/3)VO_3(LSVO)薄膜,并运用光谱椭偏仪测量了LSVO薄膜的椭偏光谱。先后用B样条模型和Lorentz+Tauc-Lorentz联合色散模型描述了材料的介电函数,并首次具体给出了LSVO薄膜的介电函数。结果表明,LSVO薄膜在1.24~5.06 eV光谱范围内存在3.41 eV和4.11 eV两个明显的光学跃迁,其中3.41 ...

  • 单位
    江苏科技大学

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