光学投影式检测非球面器件的模拟计算

作者：段存丽田爱玲陈芳

来源：光学仪器, 2005, (01): 47-51.

• 光学检测
• 非球面器件
• 理论计算
• 模拟计算 optical measure
• aspheric surface
• theory calculation
• simulation calculation

针对光学投影式检测非球面器件过程进行模拟,利用光学的基本理论和数学公式推导,对非球面度的检测过程进行了理论分析及精密计算,并对理论分析的结果进行了计算模拟,模拟得到的非球面度能较好地与理论结果相符合,模拟的精度达到了0.1nm。

• 单位
  西安交通大学